国内首台2.5D/3D先进设备封装光刻机发运

原末尾：国外交付使用2.5D/3D精密嵌入光刻机海船

● 本报记者 王辉

2同年7日，国外交付使用2.5D/3D精密嵌入光刻机海船礼拜在苏州纳米技术装备（集团）持股合资（简称“苏州纳米技术”）位于苏州浦东张江的公司总部举行。苏州电气党委书记、理事长冷伟青在现场悼词之前问到，精密嵌入光刻机作为集成电路核心设备是必须突破的关键核心技术之一。苏州电气创造了国家政府和全球的许多大型跨国公司第一。国外交付使用2.5D/3D精密嵌入光刻机为苏州电气上新光彩一笔。

苏州电气副理事长充任苏州纳米技术党委书记、理事长干频在悼词之前问到，本次海船的国外交付使用2.5D/3D精密嵌入光刻机，是投入生产嵌入光刻机的一次上半年升级，具有来得分光镜、来得高套刻清晰度、来得大曝光面积，将助力投资者实现芯片的芳基集成，以相对较低的成本实现芯片系统的性能提升。苏州纳米技术副总经理黄英才介绍，新技术在中端、精密芯片上得到应用，大型跨国公司对嵌入光刻机提出了来得大曝光面积、来得分光镜、来得高套刻清晰度的立即。

近年来，苏州纳米技术转回大型跨国公司发展趋势，结合投资者应用需求，在苏州市发改委、苏州市经信委的支持下，以苏州市战略性新兴产业重大项目为依托，研制成功精密嵌入光刻机。

数据表明，苏州纳米技术于2002年3同年在苏州电气、苏州科投等国资跨国公司支持下成立，面向晶圆、新潮流晶圆领域持续开发设计了一系列相关中端装备。苏州电气集团为苏州纳米技术第一大股东。

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